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捷誠(chéng)石墨
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目前在直拉硅棒的生產(chǎn)過(guò)程中,我們使用的單晶爐的石墨熱場(chǎng)采用的是直筒設(shè)計(jì),即保溫筒的上、中、下三部分都是和底護(hù)盤(pán)一樣大小。這種單晶爐散熱快,能耗高,保溫筒內(nèi)溫度梯度不理想,氣體流通不暢,不利于去除雜質(zhì),容易產(chǎn)生次品。
本實(shí)用新型的目的是提供一種爐內(nèi)具有理想溫度梯度的桶式單晶爐的石墨熱場(chǎng)本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是石墨熱場(chǎng)一種筒式單晶爐,包括保溫桶、導(dǎo)流管、加熱器、石墨坩堝、應(yīng)時(shí)坩堝和護(hù)底板;應(yīng)時(shí)坩堝和石墨坩堝位于加熱器內(nèi);保溫筒位于加熱器外部,并安裝在爐底保護(hù)板上;導(dǎo)流筒位于應(yīng)時(shí)坩堝和石墨坩堝的上方,在保溫筒內(nèi);其特征在于保溫筒分為上、中、下三層,上、中、下三層呈塔形,即上層最小,中層次之,下層最大。爐底保護(hù)板大于保溫筒的下層。采用本實(shí)用新型,保溫筒的上部空間相對(duì)縮小,可以增強(qiáng)保溫效果,節(jié)約能源,上中層之間可以形成理想的溫度梯度,下層空間相對(duì)擴(kuò)大,空氣流動(dòng)順暢,可以排除雜質(zhì),提高產(chǎn)品質(zhì)量;另外,底部護(hù)板比保溫筒的下層大,更有利于在保溫筒外面加保溫氈(石墨制)提高保溫效果。