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單晶爐14大石墨件加工廠 多晶爐石墨加熱器定制 耐高溫多晶硅石墨熱場 單進(jìn)口晶多晶爐石墨件

產(chǎn)品類型 石墨制品
產(chǎn)品品牌 捷誠
產(chǎn)品簡介 在現(xiàn)有技術(shù)中,單晶爐是在惰性氣體(主要是氮?dú)夂秃?環(huán)境中通過石墨加熱器熔化多晶硅材料并通過直拉法生長無位錯(cuò)單晶的裝置。將多晶硅加熱熔化,待硅完全熔化后,通過浸籽、焊接、引晶、定肩、轉(zhuǎn)肩、等徑和修整步驟拉制單晶棒。目前單晶拉制過程中,加熱器上邊緣到導(dǎo)流管下邊緣的高度h對單晶拉制影響很大,會影響單晶的成品率。

捷誠石墨

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商品描述

    在現(xiàn)有技術(shù)中,單晶爐是在惰性氣體(主要是氮?dú)夂秃?環(huán)境中通過石墨加熱器熔化多晶硅材料并通過直拉法生長無位錯(cuò)單晶的裝置。將多晶硅加熱熔化,待硅完全熔化后,通過浸籽、焊接、引晶、定肩、轉(zhuǎn)肩、等徑和修整步驟拉制單晶棒。目前單晶拉制過程中,加熱器上邊緣到導(dǎo)流管下邊緣的高度h對單晶拉制影響很大,會影響單晶的成品率。籽晶浸入前,導(dǎo)流管會隨水冷屏一起下降,但達(dá)到一定高度后不能繼續(xù)下降。可以看出,熱場設(shè)計(jì)一旦完成,加熱器上邊緣到導(dǎo)流管下邊緣的高度是固定的,不利于后續(xù)工藝和熱場優(yōu)化,影響單晶的成品率。



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