加熱電源故障

1、水壓，當水壓低于0.15MPa時，壓力表報警。

2.接地故障。

3.對于真空放電，水冷電極與加熱器的連接處必須連接牢固，最好與反射器絕緣。

4.如果爐內壓力在13.3-66.5Pa(這個真空度容易放電)。停電和斷電的原因可以認為是介質擊穿引起的放電。

停止充氣(氬氣或氮氣)。

1.開始抽真空前，請確認充氣時間長或無法充氣時，氣體管道是否堵塞。

2.如果氣路沒有問題，檢查電磁閥和充氣閥的動作。為了安全起見，在檢查之前，應停止所有與之相關的設備。

3.當充入真空室的空氣無法停止時，當泄壓閥動作時，所有氣體系統包括供氣閥和管道都應關閉。

4.確認充氣管是否漏氣，漏氣會影響產品質量。

6真空室壓力惡化

1.當真空排氣時間比平時長時，應停止設備進行檢查。根據真空室中的結構在不同狀態下收縮的影響，壓力也可能升高。

2.通過壓力上升試驗或氦泄漏檢測確認漏氣和放氣的影響。

在真空和保護氣氛中，金屬、陶瓷和一些難熔金屬中間化合物粉末被加熱和燒結。為了獲得具有一定密度和機械性能的材料，一般采用兩種工藝。即加壓燒結和無壓燒結。壓力燒結工藝是將粉狀材料置于真空和保護氣氛下的高碳模具中，然后高溫加熱至軟化狀態，壓制成型。這一過程只能通過真空熱壓燒結來實現。燒結爐具有高溫、高真空、高熱壓的特點。目前這種爐型在國內還沒有見到定型產品。

壓縮空氣停止

1、壓縮空氣異常報警，設備停止運轉，應盡快去備用壓縮機房，讓其恢復工作。

2.如果真空中的壓縮空氣異常報警，并且需要很長時間才能恢復，則停止真空并停止設備。

真空燒結爐主要用于半導體元件和功率整流器件的燒結過程。它可用于真空燒結、氣體保護燒結和常規燒結。它是特種半導體設備系列中的一種新型工藝設備。設計理念新穎，操作方便，結構緊湊，可在一臺設備上完成多種工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。下面，邊肖將為您介紹真空燒結爐的應急措施。

高真空燒結爐冷卻水異常

1.確認加熱電源已經停止。

2.如果爐外漏水，冷卻水量異常，應盡快采取應急措施。如果能保證水量，請保持真空。如果不能采取緊急措施，保持原樣，并確認設備冷卻。

3.當冷卻水出現異常時，設備停止運行，并立即接通應急冷卻水。

4.當溫度較高時(超過200℃視為高溫)，如果停止冷卻水，如果不能緊急送水，可能會損壞水冷電極、熱交換器、真空室外殼和泵。

停電；燈火管制

1.停電時，如果斷水，應立即接通備用冷卻水，并接通水源。

2.如果在非加熱、加熱和冷卻期間能盡快恢復，重新啟動設備。如果需要長時間繼續運行，請保持設備原樣。

3.如果在加熱和冷卻過程中可以盡快恢復，重新啟動設備。如果需要很長時間，就保持原樣，讓設備自然冷卻。