在整個加熱過程中，真空機組要連續工作，維持爐內真空度，抵消真空系統與釬焊爐各接口處的漏氣，釋放吸附在爐壁、夾具和焊件上的氣體和水蒸汽，揮發金屬和氧化物，降低真空度。真空釬焊有兩種:高真空釬焊和部分真空釬焊。高真空釬焊非常適合釬焊氧化物難以分解的母材(如鎳基高溫合金)，而當母材或釬料在釬焊溫度和高真空下揮發時，則采用部分真空釬焊。

當必須采取特殊預防措施以確保高純度時，應在干氫釬焊前采用真空凈化。類似地，在抽真空之前使用干燥氫氣或惰性氣體凈化將有助于在高真空釬焊中獲得更好的結果。