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捷誠(chéng)石墨
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真空爐的真空系統(tǒng)是如何運(yùn)作的?在您操作設(shè)備之前,您可以閱讀下面的分享,相信對(duì)您操作真空爐的真空系統(tǒng)有所幫助。
1、對(duì)爐子進(jìn)行預(yù)抽真空
首先關(guān)閉前閥,停止羅茨泵,然后打開預(yù)抽閥進(jìn)行爐膛抽空。當(dāng)爐內(nèi)真空度高于羅茨泵入口真空度時(shí),重新啟動(dòng)羅茨泵。前級(jí)泵機(jī)組對(duì)爐膛進(jìn)行排氣,達(dá)到預(yù)抽真空度。
2、抽高真空
當(dāng)爐內(nèi)真空度達(dá)到或超過(guò)規(guī)定值,擴(kuò)散泵加熱時(shí)間到時(shí),先關(guān)閉預(yù)抽閥,再打開高真空閥,向爐內(nèi)抽高真空,直到高真空表測(cè)得的爐內(nèi)真空度達(dá)到或超過(guò)工作真空度,再進(jìn)行下一步操作。真空關(guān)閉程序相對(duì)簡(jiǎn)單。當(dāng)爐溫降至要求關(guān)閉真空系統(tǒng)時(shí),關(guān)閉主閥,然后關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱器,但前鎖閥不能關(guān)閉,前鎖泵機(jī)組仍工作。直到擴(kuò)散泵加熱器的冷卻時(shí)間結(jié)束,前鎖閥和前鎖泵單元依次關(guān)閉。
以上是真空爐真空系統(tǒng)的操作方法。你選好器材后,可以先了解一下操作方法,這樣以后更快的投入使用。
3.羅茨泵啟動(dòng)。
打開前閥,關(guān)閉主閥和預(yù)抽閥,一鍵啟動(dòng)機(jī)械泵。當(dāng)?shù)驼婵毡頊y(cè)得的真空高于羅茨泵入口的真空時(shí),例如小于2kPa,啟動(dòng)羅茨泵。
4.預(yù)熱擴(kuò)散泵
主閥和預(yù)抽閥仍然關(guān)閉,前泵單元向擴(kuò)散泵抽真空。當(dāng)?shù)驼婵毡頊y(cè)量的前泵真空度高于規(guī)定值時(shí),如小于7Pa,啟動(dòng)擴(kuò)散泵加熱器。