真空熱處理爐是一種通過輻射加熱的設(shè)備，因此電熱元件的輻射性能直接決定了電熱元件的效率和性能，而輻射能力取決于物質(zhì)的黑度，黑度越高，輻射能力越強(qiáng)，反之越弱，石墨的黑度為0.95、鉬為0.1 ~ 0.3、鎢為0.03 ~ 0.3、鉭為0.2 ~ 0.3，石墨最大。
另外，真空環(huán)境下各種材料都會(huì)加速揮發(fā)，而且隨著真空度提高，揮發(fā)程度相應(yīng)地提高，形成各自物質(zhì)的氣氛環(huán)境，限制了電熱元件的使用范圍，例如石墨電熱元件在真空環(huán)境中揮發(fā)會(huì)形成碳環(huán)境，要求不能滲碳或者不能和碳反應(yīng)的熱處理就不能在這樣的加熱爐中進(jìn)行。
材料的價(jià)格和是否豐富也常常是電熱元件材料選擇要考慮的因素，石墨是一種儲(chǔ)量豐富，價(jià)格低廉的材料，相比之下，鉬、鎢和鉭都顯得較為昂貴。