真空熱處理是真空技術與熱處理相結合的感應技術，是指熱處理過程的全部或部分在真空中進行。中國的真空分為低、中、高、超高真空。
真空爐和中頻電爐在熱加工領域有很好的發展前景，用于透熱、軋制、鍛造、彎曲、熱處理(淬火)、焊接等過程的感應加熱。那么真空爐和中頻電爐的熱處理技巧有哪些呢？
1.在真空爐中處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮氣在高溫下反應生成金黃色的氮化鈦。
2.真空爐的所有活動接頭都用O型橡膠圈密封，用水冷卻。
3.工件在真空中淬火時，應使用真空淬火油，其飽和蒸汽壓較低。
4.真空爐的維護要在真空或純氮氣狀態下，避免平時不用時吸入和吸收水分。
5.國內真空爐的升壓速率應不大于1.33Pa/h，國外部分企業的標準是0.67 Pa/h。
6.真空加熱以輻射為主，應保持爐內工件之間的距離。
7.在加熱過程中，爐內的工件和物料會放氣，降低真空度。
8.真空回火、真空退火、真空固溶處理和真空時效的加熱溫度一般與常規處理相同。
9.真空回火爐應具有快速冷卻裝置。冷卻水壓力應大于0.2Mpa，流量應可調。
10.冷卻氣體:鋼一般用99.995%純度的氮氣，高溫合金用99.999%氮氣或氬氣，鈦合金用99.995%氬氣。
11.加熱:工件放入后，一般可通過預抽加熱至6.67Pa。