真空系統工作時，先啟動機械泵、維持泵和擴散泵（加熱），同時打開前閥和維持泵閥，對擴散泵內進行抽真空。當真空度達到系統某設定值時，羅茨泵啟動，同時旁路閥打開，前閥關閉，此時對真空室進行抽低真空當擴散泵加熱至規定溫度并且真空度高于規定值時，高閥打開，旁路閥關閉，前閥打開。此時對真空室抽高真空，達到工藝要求的真空度以后，方可進行熱處理工作。熱加工過程完成后，由熱交換器對真空室充入高純氮氣進行強制冷卻，完成整個工藝過程。