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壓縮空氣停止
1、壓縮空氣異常報警,設備停止運轉,應盡快去備用壓縮機房,讓其恢復工作。
2.如果真空中的壓縮空氣異常報警,并且需要很長時間才能恢復,則停止真空并停止設備。
真空燒結爐主要用于半導體元件和功率整流器件的燒結過程。它可用于真空燒結、氣體保護燒結和常規燒結。它是特種半導體設備系列中的一種新型工藝設備。設計理念新穎,操作方便,結構緊湊,可在一臺設備上完成多種工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。下面,小編就給大家介紹一下真空燒結爐的應急措施。
高真空燒結爐冷卻水異常
1.確認加熱電源已經停止。
2.如果爐外漏水,冷卻水量異常,應盡快采取應急措施。如果能保證水量,請保持真空。如果無法采取緊急措施,保持原樣,并確認設備冷卻。
3.當冷卻水出現異常時,設備停止運行,并立即接通應急冷卻水。
4.當溫度較高時(超過200℃視為高溫),如果停止冷卻水,如果不能緊急送水,可能會損壞水冷電極、熱交換器、真空室外殼和泵。
停電;燈火管制
1.停電時,如果斷水,應立即接通備用冷卻水,并接通水源。
2.如果在非加熱、加熱和冷卻期間能盡快恢復,重新啟動設備。如果需要長時間繼續運行,請保持設備原樣。
3.如果在加熱和冷卻過程中可以盡快恢復,重新啟動設備。如果需要很長時間,就保持原樣,讓設備自然冷卻。
加熱電源故障
1、水壓,當水壓低于0.15MPa時,壓力表報警。
2.接地故障。
3.對于真空放電,水冷電極與加熱器的連接處必須連接牢固,最好與反射器絕緣。
4.如果爐內壓力在13.3-66.5Pa(這個真空度容易放電)。停電和斷電的原因可以認為是介質擊穿引起的放電。
停止充氣(氬氣或氮氣)。
1.開始抽真空前,請確認充氣時間長或無法充氣時,氣體管道是否堵塞。
2.如果氣路沒有問題,檢查電磁閥和充氣閥的動作。為了安全起見,在檢查之前,應停止所有與之相關的設備。
3.當充入真空室的空氣無法停止時,當泄壓閥動作時,所有氣體系統包括供氣閥和管道都應關閉。
4.確認充氣管是否漏氣,漏氣會影響產品質量。
6真空室壓力惡化
1.當真空排氣時間比平時長時,應停止設備進行檢查。根據真空室中的結構在不同狀態下收縮的影響,壓力也可能升高。
2.通過壓力上升試驗或氦泄漏檢測確認漏氣和放氣的影響。
在真空和保護氣氛中,金屬、陶瓷和一些難熔金屬中間化合物粉末被加熱和燒結。為了獲得具有一定密度和機械性能的材料,一般采用兩種工藝。即加壓燒結和無壓燒結。壓力燒結工藝是將粉狀材料置于真空和保護氣氛下的高碳模具中,然后高溫加熱至軟化狀態,壓制成型。這一過程只能通過真空熱壓燒結來實現。燒結爐具有高溫、高真空、高熱壓的特點。目前這種爐型在國內還沒有見到定型產品。