真空爐是指用電熱元件在接近真空的狀態下加熱的工業爐。真空爐冷卻系統是真空爐的重要組成部分。冷卻水通道要保持暢通，否則水溫會升高而停止。這是真空爐工作中經常被忽視的問題，無人看管可能會導致真空爐的極大損壞。

真空鉬加熱器長期使用后會變硬，收縮，脫落，先脫落重疊，再熔斷(熔化)。為了使真空爐電熱絲在高溫下具有必要的強度，防止硬化、塌陷或下垂，首先應設計真空爐電熱絲如螺旋電阻絲的結構尺寸，并注意加熱元件的彎曲直徑、節距和中徑。發熱體即將被真空爐保溫內襯松動，保溫內襯上放95陶瓷片，適當留出其膨脹空間。敷設位置要合適，一般100 ~ 200 mm，能牢牢鉤住，防止電阻絲躺在上面。此外，應避免爐線之間的直接接觸(短路)，一般應放置墊片。

借助生物分解化學處理冷卻水的目的是使礦物質保持懸浮狀態，減少橡膠管、蛇形管和水套中沉積物的堆積，使水流通暢。這通常由自動裝置來完成，該裝置可以監控水的導電性，自動補充化學物質，沖洗水路并添加淡水。通過輔助蒸汽過濾系統，這種方法還可以確保控制水的pH值，并防止冷卻水系統中過量礦物質的沉積。系統穩定運行后，每月至少進行一次水質檢測，防止過度處理或不合理處理。

真空回火爐殼體和換熱器材料的試樣也要放在水路系統中，每年做一次失重試驗，檢查處理效果。必須特別注意擴散泵的蛇形冷卻器。應該經常檢查。如果堵塞，擴散泵將過熱并失去功能，并且會進一步導致擴散泵的加熱器燒壞，導致昂貴且耗時的修理。蛇形冷卻水管堵塞時，斷開水路與水源的連接，排干后用壓縮空氣吹或用稀醋酸溶液沖洗。