操作人員應(yīng)戴口罩和PVC手套。石墨坩堝應(yīng)放置在墊有橡膠墊的臺車上。石墨坩堝內(nèi)如有掉落的氮化硅粉塵，應(yīng)及時用壓縮空氣吹出，防止進入熔融硅，影響結(jié)晶質(zhì)量。
     將柔性石墨板放置在裝載小車的中部（運用直推小車），以保證柔性石墨板放置在運輸小車上處于平衡狀況。將坩堝放在柔性石墨板上（保證柔性石墨板不晃動），使柔性石墨板的四個邊際與坩堝的四個邊際之間的間隔基本相同，必要時調(diào)整坩堝的位置。在坩堝周圍安裝柔性石墨板，將螺栓和螺釘孔對準柔性石墨板，用手悄悄擰緊螺母，調(diào)查柔性石墨板周圍和坩堝周圍的間隙，移動柔性石墨板，以保證坩堝置于中心。查看保溫籠是否正常，底部四角與爐腔下邊際基本在同一平面上，無傾斜、凹凸現(xiàn)象。柔性石墨板的四個角應(yīng)與爐腔之間的間隔共同。保證下爐膛處于下限。
    用真空吸塵器清潔爐膛。請勿在高溫下操作，以免燙壞人體或污染柔性石墨板。查看坩堝裝載和石墨支撐板的狀況。承認無異常后，試裝/卸叉車，吊起裝好的坩堝支撐板，注意坩堝平衡，將坩堝支撐在兩叉臂中心。升高叉臂的上限，小心地駛?cè)雰蓚€導(dǎo)軌之間的下爐腔，緩慢下降坩堝，并緩慢地將其放在DS塊上。用直尺測量DS塊與柔性石墨板四個邊際之間的間隔為4±0.5cm。保證石墨支撐板在中心，并將坩堝放在DS塊上。在此過程中，請注意叉臂底部不會壓過頂部柔性石墨板。將坩堝放在DS塊上，然后緩慢地卸下叉車。用清潔紙和異丙醇清潔上下爐腔法蘭段，然后在下爐腔密封零位均勻涂改一薄層高溫真空潤滑脂。