石墨舟皿去垢前的檢查工作：

石墨舟在使用過程中接近100次時(shí)需要操作人員及時(shí)檢查鍍膜情況，出現(xiàn)鍍膜異常，需要進(jìn)行清洗確認(rèn)。

硅片在石墨舟內(nèi)正常鍍膜顏色為藍(lán)色，片內(nèi)出現(xiàn)非藍(lán)色、多種顏色或片與片間顏色差異較大，都為鍍膜異常，需要工藝確認(rèn)異常原因。

由工藝人員對(duì)舟的鍍膜情況進(jìn)行分析后，確定石墨舟是否需要清洗以及卡點(diǎn)是否需要更換，生產(chǎn)將需清洗的舟交由設(shè)備人員清洗。

石墨舟確定需要清洗后，由設(shè)備、生產(chǎn)、工藝三方對(duì)石墨舟進(jìn)行檢查。做好以上檢查后，接著就是去垢的方法：

1、打開酸槽排水閥，待廢酸排盡，用水槍對(duì)酸槽進(jìn)行沖洗。

2、關(guān)上閥門，將石墨舟放進(jìn)酸槽中，打開進(jìn)水閥門，往酸槽里放入純水直到水能夠淹沒石墨舟為止，關(guān)閉水閥。然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗機(jī)的窗戶關(guān)好，然后開始清洗（要在酸中浸泡6個(gè)小時(shí)左右）。清洗過程中戴好防酸堿手套，將石墨舟從酸槽中取出查看是否清洗干凈，如果到時(shí)間還未洗干凈，再繼續(xù)清洗，直到干凈為止。

3、清洗干凈之后，放入水槽，用水槍沖洗后關(guān)上排水閥，放水，以水沒過舟為準(zhǔn)，漂洗一般需2個(gè)小時(shí)。

4、清洗完畢后，將石墨舟從水槽中取出，用氣槍吹掉表面明顯的水珠。

5、將石墨舟抬入專用烘箱，關(guān)上烘箱門鎖緊；打開電源開關(guān)—風(fēng)機(jī)開關(guān)—升溫開關(guān)—報(bào)警開關(guān)；溫控表設(shè)定溫度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小時(shí)（經(jīng)過測試石墨舟在烘箱烘干后與使用前的石墨舟無差別方可取出）。

6、設(shè)定溫度20度，一般降溫半個(gè)小時(shí)烘箱里的石墨舟達(dá)到常溫，可以取出。

7、將石墨舟上的全部螺母扭緊并檢查石墨舟全部的陶瓷件，需要更換工藝點(diǎn)的石墨舟，取出后需要入維修間專用貨架等待維修。以上就是處理石墨舟皿表面的方法。