煅燒石墨加工的操作規程：
一、作業分配
提供高純度的石墨卡瓣和石墨基座，為生產優質太陽能級多晶硅奠定基礎。
二、職位的責任
1、煅燒石墨零件的制備
2、石墨零件的清洗
3、石墨零件的干燥
4、石墨零件的煅燒
三、流程原理
石墨加工中揮發性物質經過高溫煅燒除去，以避免雜質污染多晶硅在還原和拉伸硅芯。
四、工藝目標
1、真空泵低真空至30格柵(1x 10-3齒輪)
2、分散泵高真空到90格柵(1x 10-3齒輪)
3、焙燒爐高壓啟動后20分鐘升壓，每次0.5V。
4、煅燒爐溫度至1550℃
五、泊車及緊迫泊車程序及操作方法
1、沸騰冷卻水閥
2、翻開真空泵
3、閉式分散泵制動刀、預熱分散泵
4、當低真空達到30格柵(1x 10-3齒輪)時，翻開真空閥，封閉低真空閥。
5、翻開高真空閥，高到90格柵(1x 10-3齒輪)
6、翻開高壓開關，20分鐘后升高電壓。當真空度等于80-90格時，壓力增加到8（x5），爐溫為1550℃，恒溫2-3小時。
7、停止：緩慢冷卻，通常10分鐘，停止高壓電源，停止分散泵，封閉真空閥，停止爐子，封閉冷卻水閥。
8、拆爐：拆爐后，戴好口罩和高純手套，將石墨件拆下，用干凈的塑料袋密封。
9、緊迫泊車：先停真空泵，然后停電，最終停水。
六、石墨加工常見事端的剖析與處理
（1）停水：立即封閉真空泵閥門，然后封閉電源。
（2）停電：封閉真空泵閥門，等候石墨爐和分散泵溫度降至室溫，然后封閉電源，最終封閉循環水閥門。
（3）不能抽真空：停爐查看密封件的密封狀況。
七 連鎖、報警
水壓、溫度、真空、電壓和電流
八、設備清單
循環水體系、真空體系、分散泵、石墨煅燒爐
九、石墨加工工藝流程
石墨清洗→裝爐→抽真空→開爐→升溫→恒溫→降溫