進口石墨管正確安裝步驟是怎么樣的?
2022年08月08日
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石墨管
石墨管按護模設計準確裝入爐內。 合上蓋子,啟動真空機械泵排氣,待爐內真空度低于1mmHg后開始升溫。 提高到所需的沉積溫度約 1 小時,然后按以下比例通入氮氣和丙烷氣:感應爐為 2:1,碳管爐為 5:1。 必須保證氣體均勻地通過石墨管的內外表面。 沉積時間的長短取決于涂層厚度要求。 在整個沉積過程中,機械泵一直在工作,在加入新鮮丙烷氣的同時,熱解氣體產物通過除塵器排出爐外。 當達到所需的沉積時間時,停止原料氣的供應,切斷電源,關閉機械泵的閥門,停止排氣。 但爐內仍保持負壓,自然冷卻后放爐。
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