石墨熱場是單晶硅結晶的重要條件之一
2022年06月15日
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石墨熱場
熱場是單晶硅結晶的重要條件之一。熱場的梯度分布直接影響單晶能否拉制,以及拉制單晶的質量,其材質直接影響熱場的壽命。我公司與國內最早的單晶硅企業合作了十多年。18-22英寸石墨熱場與國內外石墨材料合作開發成功,建立了自己的石墨熱場生產基地。長期應用主要單晶硅生產基地。對使用的石墨材料和整個熱場壽命進行了肯定,并為以后的生產特別制定了以下標準。
單晶硅爐石墨熱場是一個物理、化學和幾何的綜合理論,是由專業研究人員經過多年的反復考證和多年的經驗總結而形成的。
精細結構的中粗石墨用作熱場的底部保護板。保溫罩、上下罩采用進口等靜壓石墨作為加熱器、坩堝、導流板、支撐桿、鍋托等。,保證了石墨坩堝的強度和純度。
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