真空燒結是一種在真空條件下燒結陶瓷坯體的方法。在燒結過程中，包含在氧化物陶瓷體孔隙中的水蒸氣、氫氣、氧氣和其他氣體可以沿著陶瓷體的晶界或穿過晶粒從孔隙中逸出。而一氧化碳、二氧化碳，尤其是氮氣，由于溶解度低，很難從孔隙中逸出，導致產品中出現孔隙，導致密度降低。如果坯體在真空中燒結，在坯體完全燒結之前，所有氣體將從孔隙中逸出，使得產品不含孔隙，從而提高產品的密度。

     在高溫和一定真空度下，一定形狀的陶瓷坯體在真空燒結爐中經過物理和化學過程，可以變成致密、堅硬、體積穩定、具有一定性能的燒結體。化學過程包括粘性流動、擴散、蒸發、冷凝、新相形成、溶解和沉淀、固溶體生成等。在此過程中，粉末的總表面能降低，坯體宏觀收縮，強度增加。微觀上，孔隙數量減少，孔隙形狀和大小發生變化，晶粒大小和形貌發生變化，晶粒長大，晶界減少，結構變得致密。瓷體含有一定量的孔隙，其中水蒸氣、氫氣和氧氣可以通過溶解和擴散的方式從封閉的孔隙中逸出，而一氧化碳、二氧化碳和氮氣由于溶解度低，很難從封閉的孔隙中逸出。  

     真空燒結爐采用高溫電合金絲或碳化硅棒作為加熱元件，K型熱電偶或S型熱電偶作為測溫元件。爐內最高溫度可達1700℃，溫度由精密數顯程序溫控儀控制，可實現爐溫自動程序升降溫。機械真空泵或兩級真空機組對爐內抽真空，可以實現樣品的真空燒結，同時還可以注入保護氣氛或反應氣氛進行氣壓高溫燒結。該設備廣泛用于結構陶瓷、功能陶瓷、硬質合金、生物陶瓷、人工晶體和復合材料的高溫燒結試驗。