真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及慣例燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝配備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完結多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，小編就為您介紹真空燒結爐的應急辦法。

壓縮空氣的中止
       1、壓縮空氣反常報警時，設備處于中止狀況，應趕快到備用的緊縮機房，讓其康復工作。
       2、真空中如緊縮空氣反常報警，且康復需求較長時刻時，則終止真空，讓設備停下來。   
高真空燒結爐冷卻水反常
       1、承認加熱電源已中止。
       2、爐外產生漏水，冷卻水量反常時，應趕快采納應急辦法，如能確保水量，請持續保持真空，如不能采納應急辦法，保持原狀，承認設備冷卻下來。
       3、冷卻水產生反常時，設備處于中止狀況，立刻接通緊急用冷卻水。
       4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，假如冷卻水中止了，不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
停電
       1、停電時，假如斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。
       2、假如在非升溫、加熱和冷卻時，能夠趕快康復時，重新啟動設備，持續工作如需求較長時刻，則將設備保持原狀。
       3、假如正在加熱和冷卻時，能夠趕快康復時，重新啟動設備，假如需求較長時刻時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。
加熱電源掉電
      1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。
      2、接地故障。
      3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處有必要連接結實，與反射屏絕緣要好。
      4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易產生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以以為因為電介質擊穿而引起的放電。
充氣氣體(氬氣或氮氣)中止
      1、抽真空開端前，氣體充入時刻長或許無法充入時，請承認氣體管路是否被阻塞。
      2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要悉數中止后再進行檢查。
      3、向真空室內充氣不能中止的狀況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要封閉氣體供應閥及配管在內的所有氣體系統。
      4、承認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。
真空室壓力惡化
      1、真空排氣時刻比通常長時，應把設備停下來進行檢查，根據真空室內構造物不同狀況下放氣的影響，也有導致壓力升高的狀況。
      2、經過壓力上升測驗或許用氦氣檢漏來承認是漏氣還有放氣的影響。
在真空和保護性氣氛中，對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結，要獲得一定密度和具有一定機械性能的資料時，一般采用兩種工藝;即有壓燒結和無壓燒結。有壓燒結工藝是將粉狀資料置于真空和保護性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀況時，加壓成型。這種工藝需求一種真空熱壓燒結才干完成。該燒結爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點。現在這種爐型在我國還未見定型產品。