真空熱處理即真空技術與熱處理兩個專業相結合的概括技術，是指熱處理工藝的悉數和部分在真空狀態下進行的。真空熱處理爐熱效率高，可完畢快速升溫文降溫，可完畢無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，然后抵達表面亮光凈化的作用。
真空熱處理爐的特點:
       (1)水冷設備，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中心真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態下作業。在這種極為不利的條件下作業，必須保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因而，各部件應該依據不同的狀況設置水冷設備，以保證真空熱處理爐可以正常運轉并有足夠的運用壽命。
       (2)選用低電壓大電流:在真空容器內，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會發生輝光放電現象。在真空熱處理爐內，嚴峻的會發生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和丟失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業電壓，一般都不超過80一100伏。一起在電熱元件結構設計時要采取有用措施，如盡量避免有頂級的部件，電極間的間距不能太小窄，以避免輝光放電或許弧光放電的發生。
       (3)大部分加熱與隔熱資料只能在真空狀態下運用:真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業的，因而對這些資料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導熱系數小等要求。對立氧化性能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛選用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構料。這些資料在大氣狀態下極易氧化，因而，慣例熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱資料。

       (4)嚴格的真空密封:眾歷周知，金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因而，獲得和保持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的作業真空度，對保證零件真空熱處理的質量有著非常重要的含義。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，便是要有牢靠的真空密封結構。為了保證真空爐的真空性能，在真空熱處理爐結構設計中必須道循一個基本原則，便是爐體要選用氣密焊接，一起在爐體上盡量少開或許不開孔，少選用或許避免選用動密封結構，以盡量削減真空走漏的時機。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出設備也都必須設計密封結構。
       (5)自動化程度高:真空熱處理爐的自動化程度之所以較高，是因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完結。這些動作內在真空熱處理爐內進行，操作人員無法挨近。一起，有些動作如加熱保溫完畢后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內完結。在這樣迅速的條件來完結許多動作，是很容易形成操作人員的緊張而構成誤操作。因而，只要較高的自動化才干準確、及時按程序協調集。