真空燒結(jié)爐石墨件主要用于半導(dǎo)體元件和功率整流器件的燒結(jié)工藝。 可用于真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。 是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備。 結(jié)構(gòu)緊湊，可在一臺設(shè)備上完成多項(xiàng)工藝流程。 也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。 那么我們來看看真空燒結(jié)爐在以下三種情況下可以采取的應(yīng)急措施。

一.加熱電源斷電

1、水壓低。 當(dāng)水壓低于0.15MPa時(shí)，壓力表報(bào)警。

2. 接地故障。

3、真空放電時(shí)，水冷電極接頭與加熱器的連接必須牢固，與反射屏的絕緣性要好。

4、如果爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa（這個(gè)真空度容易放電）。 停電，停電的原因可以認(rèn)為是由于介質(zhì)擊穿引起的放電。

二.停止膨脹氣體

1、抽真空開始前，如果充氣時(shí)間長或無法充氣，請確認(rèn)燃?xì)夤艿朗欠穸氯?br>
2、如果燃?xì)夤艿罌]有問題，檢查電磁閥和充氣閥的動(dòng)作。 為安全起見，所有與其相關(guān)的設(shè)備應(yīng)在檢查前停止。

3、當(dāng)無法停止向真空室充氣時(shí)，當(dāng)泄壓閥動(dòng)作時(shí)，例如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，必須關(guān)閉所有氣體系統(tǒng)，包括供氣閥和管道。

4、確認(rèn)充氣管道是否有漏氣現(xiàn)象，如有，將影響產(chǎn)品質(zhì)量。    

三、停電

1、斷電時(shí)，如斷水，應(yīng)立即接通備用冷卻水，并接通水源。

2、如果設(shè)備在不加熱、加熱和冷卻過程中能盡快恢復(fù)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長時(shí)間繼續(xù)運(yùn)行，保持設(shè)備原狀。

3、如果正在加熱和冷卻，盡快恢復(fù)時(shí)重啟設(shè)備。 如果需要較長時(shí)間，請保持原樣，讓設(shè)備自然冷卻。