真空燒結(jié)爐石墨件主要用于半導體元件和功率整流器件的燒結(jié)工藝。 可用于真空燒結(jié)、氣體保護燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。 是半導體專用設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備。 結(jié)構(gòu)緊湊，可在一臺設(shè)備上完成多項工藝流程。 也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。 那么我們來看看真空燒結(jié)爐在以下三種情況下可以采取的應(yīng)急措施。

一.加熱電源斷電

1、水壓低。 當水壓低于0.15MPa時，壓力表報警。

2. 接地故障。

3、真空放電時，水冷電極接頭與加熱器的連接必須牢固，與反射屏的絕緣性要好。

4、如果爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa（這個真空度容易放電）。 停電，停電的原因可以認為是由于介質(zhì)擊穿引起的放電。

二.停止膨脹氣體

1、抽真空開始前，如果充氣時間長或無法充氣，請確認燃氣管道是否堵塞。

2、如果燃氣管道沒有問題，檢查電磁閥和充氣閥的動作。 為安全起見，所有與其相關(guān)的設(shè)備應(yīng)在檢查前停止。

3、當無法停止向真空室充氣時，當泄壓閥動作時，例如泄壓閥動作時，必須關(guān)閉所有氣體系統(tǒng)，包括供氣閥和管道。

4、確認充氣管道是否有漏氣現(xiàn)象，如有，將影響產(chǎn)品質(zhì)量。    

三、停電

1、斷電時，如斷水，應(yīng)立即接通備用冷卻水，并接通水源。

2、如果設(shè)備在不加熱、加熱和冷卻過程中能盡快恢復(fù)，重新啟動設(shè)備，如果需要較長時間繼續(xù)運行，保持設(shè)備原狀。

3、如果正在加熱和冷卻，盡快恢復(fù)時重啟設(shè)備。 如果需要較長時間，請保持原樣，讓設(shè)備自然冷卻。