真空爐殼一般采用水冷或風(fēng)冷方式冷卻。

真空爐中的壓力可以被泵入低于大氣壓的工業(yè)爐中。真空爐電加熱，加熱工件表面不氧化，不脫碳，變形小，機(jī)械性能好。真空爐熔化金屬有利于去除雜質(zhì)，成品針孔少，偏析小，質(zhì)量好。真空爐適用于熔煉和加熱高質(zhì)量、高純度的難熔金屬，如鎢、鉬、鉭、鈮、鈦、耐熱合金鋼以及磁性材料、電工材料、高強(qiáng)度鋼、不銹鋼、工具鋼和模具鋼的熱處理。真空爐出現(xiàn)在20世紀(jì)30年代左右。1927年，美國(guó)制造了電工材料真空退火爐。1953年，工業(yè)上使用真空自耗電弧爐冶煉海綿鈦。20世紀(jì)50年代左右，真空感應(yīng)爐在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。1960年，美國(guó)研制出油淬真空爐。

真空爐一般由爐腔、電加熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、電源系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)組成。爐殼采用碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結(jié)合面采用真空密封材料密封。為了防止?fàn)t殼變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般采用水冷或風(fēng)冷冷卻。爐子位于密封的爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子的用途，不同類型的加熱元件，如電阻器、感應(yīng)線圈、電極和電子槍，安裝在爐子內(nèi)部。在冶煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)安裝坩堝，有的還配有自動(dòng)澆注裝置和裝卸物料的機(jī)械手。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥和真空計(jì)組成。

20世紀(jì)50年代，無(wú)芯感應(yīng)爐迅速發(fā)展。后來(lái)出現(xiàn)了電子束爐，利用電子束沖擊固體燃料，可以強(qiáng)化表面加熱，熔化高熔點(diǎn)材料。鍛造加熱用的爐是第一臺(tái)手鍛爐，其工作空間是一個(gè)凹形的凹槽，凹槽內(nèi)填充煤，燃燒用的空氣從凹槽下部供給，工件埋在煤中加熱。這種爐熱效率低，加熱質(zhì)量差，只能加熱小工件。后來(lái)發(fā)展成用耐火磚制成的半封閉或全封閉的室式爐。可以用煤、煤氣或石油作燃料，也可以用電作熱源，工件可以在爐內(nèi)加熱。

為了方便加熱大型工件，出現(xiàn)了適合加熱鋼錠和鋼坯的臺(tái)車式爐，還出現(xiàn)了加熱長(zhǎng)棒材的井式爐。20世紀(jì)20年代以后，出現(xiàn)了各種機(jī)械化和自動(dòng)化的爐型，可以提高爐子生產(chǎn)率和勞動(dòng)條件。隨著燃料資源的開發(fā)和燃料轉(zhuǎn)換技術(shù)的進(jìn)步，工業(yè)爐的燃料逐漸從塊煤、焦炭、煤粉等固體燃料轉(zhuǎn)變?yōu)榘l(fā)生爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料，并開發(fā)了各種適用于所用燃料的燃燒裝置。